掌握微機電(第二版) [楊龍杰編著] 9786269729135

1. 本書訂正「掌握微機電」初版前十三章內容之錯誤，更新2007-2022年間之微機電新知於第十四章，並特別強調CMOS MEMS代工，與現地多重感測器監控之微機電特色。
2. 基於科普推廣之緣由，各章安排之範例，重在介紹國內外微機電學者之研究貢獻，並陳明微小科技背後之物理觀念。內容中偶然出現之數學處理手法，係提供大四生與研究生進階學習之用。

頁數：432
版次：第2版
年份：2023年
規格：16開/平裝/單色
ISBN：9786269729135

Chapter1 微機電科技簡介
Chapter2 半導體製程與設備
Chapter3 矽質微細加工
Chapter4 金氧半微機電技術
Chapter5 高深寬比微加工技術
Chapter6 高分子微機電技術
Chapter7 微感測器技術
Chapter8 微制動器技術
Chapter9 光學微機電系統技術
Chapter10 生醫微機電技術
Chapter11 微流體元件技術
Chapter12 微型飛行器
Chapter13 微機電之封裝與測試技術
Chapter14 微機電系統技術的補充與展望