微機電系統是基於整合微電子電路(IC)與機械、光學、生化、高頻、流體等跨領域的系統技術(SoC),其可能包含致動器、感測器、訊號處理電路等諸多功能於一體,而成為智慧元件(Intelligent Device)。隨著奈米及生醫技術逐漸成為今日科技焦點,微機電元件扮演了強勁推手的角色,我們也期待其能創造如半導體IC產業般的龐大商機。
本書可作為大學部高年級生,研究所學生教科書,對於相關產業界有興趣的工程人員作為參考材料也相當適合。除了對基本微電子技術有所介紹,在體型微加工、面型微加工、立體微影等微機電元件標準製作技術也有相當深入的最新技術討論。特別是作者以IDT元件為例,詳盡說明聲波元件的各種理論、效應、量測與微感測器的製作及應用等,最後加入電子電路的高度整合,可以發展成智慧型微機電系統,其中扮演關鍵角色的即是所謂微系統元件。特別在如本書作者專精的生醫應用領域,如人工鼻等,搭配高分子材料的微機電技術發展已被證明是最適合的基礎元件。譯者相當看好生醫及高頻等跨領域技術整合的未來發展,本書無疑是通往此路的最佳領航員,希望大家好好研讀「微機電元件」一書。
頁數:584
版次:第1版
年份:2005年
規格:16開/平裝/單色
ISBN:9867287029