半導體製造技術 [劉文超等校閱(Quirk)] 9867727703

🔸書名:半導體製造技術
🔸作者:Quirk
🔸校閱:劉文超、許渭洲
🔸編譯:羅文雄、蔡榮輝、鄭岫盈
🔸ISBN:9867727703
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商品編號: EE0209C

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產品介紹
  • 對於半導體製造技術從晶圓準備、次微米製程及封裝測試方面皆做完整詳盡的介紹。
  • 最淺顯易懂的字詞揭示出原文書之精湛內容。
  • 對大專在學學生及實際線上工程師而言,皆是一本優良的課程教材及技術入門手冊。
規格說明

頁數:800
版次:第1版
年份:2003年
規格:16開/平裝/單色
ISBN:9867727703

產品內容與運送說明

第1章 半導體工業簡介
第2章 半導體材料特性
第3章 元件技術
第4章 矽與晶圓準備
第5章 半導體製造之化學特性
第6章 半導體製造廠之污染控制
第7章 量測與缺陷
第8章 製程反應室之氣體控制
第9章 IC製造概述
第10章 氧化
第11章 沈積
第12章 金屬化
第13章 微影:氣相塗底至軟烤
第14章 微影:對準與曝光
第15章 微影:光阻顯影與先進雕像
第16章 蝕刻
第17章 離子植入
第18章 化學機械平坦化
第19章 晶圓測試
第20章 裝配與封裝
附錄A 化學品及其安全性
附錄B 無塵室中的污染控制
附錄C 單位
附錄D 以氧化物厚度為函數的顏色
附錄E 光阻化學品概論
附錄F 蝕刻化學品

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